衍射光學元件（Diffractive Optical Element，DOE）通常采用微納刻蝕工藝構成二維分布的靜態(tài)衍射單元，每個衍射單元可以有特定的形貌、折射率等，對激光波前位相分布進行精細調控。激光經過每個衍射單元后發(fā)生衍射，并在一定距離（通常為無窮遠或透鏡焦平面）處產生干涉，形成特定的光強分布。

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